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测量薄膜厚度

布鲁克公司提供准确测量透明薄膜厚度的方法

在产品表面覆盖一层薄膜或者透明膜,起保护作用或发挥很多其他特殊功能,例如,用于电子装置表面、光伏器件或光学滤波片。准确了解这些薄膜的厚度并将厚度控制到纳米级,对产品质量和性能至关重要。

布鲁克公司提供快速高效的接触式探针测量系统。用于薄膜厚度测试,具备最高的重复性和准确度,可以测量纳米级薄膜,重复性低于5 埃。对于较厚的透明薄膜,布鲁克非接触式三维光学形貌仪可以测量厚度介于 1 到 400 微米之间的薄膜。