SI BrickScan

无需制备薄样品即可进行间隙氧定量分析

SBS 4

SiBrickScan 能够对 500 mm 直径硅锭的间隙氧进行分析。从中获得的重要信息优化结晶过程,并在切割之前,对单个锭进行定量分析。

与根据ASTM/SEMI 1188相比结果完全一致

SBS 5

SBS的氧含量评估与根据 ASTM/SEMI 1188 进行定量结果完全一致。因此可以实现高精度的间隙氧含量评估。

SBS 可实现高检测灵敏度

SBS可达到< 2ppma (< 1017/cm3) 的检测极限,具体视样品的形状和性质(如电阻)而定。如果您对测试性能有兴趣,请联系当地的布鲁克代表。