SI BrickScan

SiBrickScan (SBS) 硅锭中的氧分析

SiBrickScanSBS是一款专门用于定量分析完整硅锭中的间隙氧,生成沿硅锭纵轴的浓度分布曲线的在线系统。优势是不必切割晶圆或测试样品的情况下获取这类信息,可显著节约成本。

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通过获取有价值的信息来检查和提高产品质量

了解硅锭的氧梯度能得出重要的结论,从而控制和优化硅结晶过程,或识别劣质原料批次。因此,SBS将通过优化产品质量和减缺陷晶圆的数量来节约成本。对锭进行随机抽样也大大减少样品制备工作,并能提前提供相关信息。

先进的FTIR光谱法带来高灵敏度

尽管通过FTIR光谱法(ASTM/SEMI 1188)对间隙氧进行定量分析是一个众所周知的重要分析方法,但它却只能限制在小毫米量程的薄硅样品范围内。SiBrickScanSBS)巧妙地利用了相关的红外泛频吸收带,并与先进可靠的布鲁克FTIR技术相结合,打破了这个局限性,它是首个商用的完整硅锭中氧梯度专用分析系统,无需进行耗时且破坏性薄样品制备,就能准确测定沿主轴上的硅锭氧梯度。

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