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Dimension Automated—世界上唯一的基于Fab的原子力轮廓仪

65nm 制成工艺下CMP和刻蚀的检测手段

Dimension Automated AFP是世界上唯一一款可以在65nm工艺中对CMP和刻蚀工艺进行监控的仪器。

 

取代传统的高成本、破坏性的横断面测量技术,利用Dimension AFP检测技术,可以获得最佳的器件表征和刻蚀深度的计量。