InSight™ 3D 仪器特性

InSight 3D AFM作为全新的原子力显微镜测量平台,配备高精准定位的X-Y轴测试台,激光自动聚焦的模式识别系统以及自动探针更换程序。此外,新的AFM控制系统和探针型号不仅降低了检测成本,而且可以在更细微的尺度上进行精确测量。

 

  • 准确测量多种关键尺寸(CD),包括门(Gate),浅槽隔离(shallow trench isolationSTI)的双嵌入式结构(dual-damascene structures)、侧壁腐蚀角(SWA)、线边粗糙度等特征参数
  • 提供最小的CDSWA测量误差
  • 能够以每小时流片数(WPH30片,每片测量9个点的模式来进行深度测量;每小时流片数(WPH12片,每片测量9个点的模式来进行CD测量
  • 提供高精准、无损3D测量(LERLWRSWA
  • 以生产线水平的可靠性和最高的自动化程度提供在线检测
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InSight 3DAFM reference metrology.