QUANTAX 微区-XRF

微区XRF （X荧光分析）是一种的无损元素分析技术,可以与传统的SEM能谱同时使用。

M微区-XRF，也称为SEM XRF，使用X射线源来进行成分分析，可实现痕量元素检测、层厚分析和更高能量特征X射线的探测，拓宽客户SEMEDS的分析能力，并且测试时无需破坏样品，对样品无导电性、平整性等要求。

痕量元素检测

XRF-荧光分析可以得到更高能量的谱线（最高40keV), 可以检测到更低含量的元素（某些元素可以低至10ppm)，同时可以得到更大深度的样品信息。

可以用更小的光斑进行元素面分布测量

QUANTAX 微区-XRF  XTrace 2所配备的是第二代光管，具有更高的X光密度，光斑尺寸最小可到10微米。

多层样品分析

X光穿透能力更强，因此使用微区荧光可以对1nm直到40微米的多层样品进行直接分析，这是电子束所无法达到的深度。

• 获得更全面的信息 - SEM EDS和微区XRF可以使用户得到更多的信息。
• 得到更多的元素信息  - 轻元素（碳到钠）可以通过电子束激发，而重元素可以通过X-光束激发。
• 一次测量得到两个谱 - EDS和微区XRF由同一支探头采集，在得到轻元素谱图的同时可以得到痕量元素的更高能量谱线的信息。
  
• 得到更干净的数据 - 更宽的能量范围可以得到更多的K线信息，K线系分得更开，不容易出现重叠的情况。
  
• 节省时间 - 样品无须处理，不需要对样品表面进行抛光和喷镀。

QUANTAX 微区-XRF 系统主要由以下几部分组成：

•  XTrace 2 50 kV X-光光源
• ESPRIT 软件用于分析和数据处理 
•  XFlash^® EDS 探头 ( SEM已有或额外装配)
• 快速样品台 (选配件) 

XTrace 2是用于SEM的QUANTAZ 微区-XRF系统的新一代X-光光源 (SEM XRF)。具有更高的功率，使用户可以更快速地得到分析结果。

新光源的新特点，比如可调的束斑尺寸；光阑管理系统；自动滤膜切换系统，使得一些困难的样品也可以得到更好的处理。

• 能量可达50kV，束流可达1000微安，这使得采集的速度更快，信息更准确。
• 可自动切换的六个滤片可以更好地去除背底。
• 新的光阑系统（AMS）可以使图像具有更好的景深，使表面高度差比较大的样品可以得到更清晰的图像。
• FlexiSpot模式可以调节束斑的大小，适用于不均匀或不规则的样品。
• 不使用的时候可以自动将X-光光源移出。
• 可以保存测量位置并自动回访进行相应的微区XRF/电子束分析。
• 自动的X-光光源加热程序可以有效延长其使用寿命。
• 所有功能，测量，滤膜选择，光管移动等，均由Esprit软件平台控制。

XTrace 2具有专利的AMS系统，这使得表面形貌比较复杂的样品也可以得到很好的图像分辨率。

AMS系统可以得到更好的景深，在不同工作距离上都得到更好的聚焦，保证了起伏较大的样品表面在三维上的元素面分布信息的空间分辨率。

FlexiSpot功能使用户除了最小的束斑尺寸（1微米，35微米）还可以选择使用更大的束斑（50-500微米）。用户可以通过ESPRIT软件控制X-光光源的进出来调整束斑的大小。 

大束斑可以采集更大范围的数据，一次测量的结果具有更好的统计准确度，可以在不均匀的样品，形状不规则的样品以及表面不平的样品上得到更准确的测量结果。

新一代的 XTrace 2 配有六种滤膜，可以有效过滤0 - 40 keV整个能量范围的背底，进一步提高检测的灵敏度。

新的过滤功能使用户可以通过ESPRIT软件的操作来直接降低背景干扰，得到更好的检测结果。

毛细管束 X -光源可以通过马达台进行自动伸缩

SEM样品仓的开关状态可以集成到XTrace 2的安全控制回路中，当SEM的样品仓打开的时候，X-光光源的门会保持关闭状态，以使用户不会经受 X-光的辐射。此功能适用于不同类型的SEM。

快速样品台（Rapid Stage）是专门装在SEM样品台上的压电陶瓷样品台，最快速度可达4mm/s，可以实现快速的大范围的元素面分布检测。

使用快速样品台可以快速采集样品的元素面分布信息，样品尺寸可达50 X 50mm 或更大，不仅可以采集轻元素面分布，还可以用XRF采集高能谱线，得到痕量元素的分布信息，快速易用。

快速样品台与 XTrace 2 一起，都可以通过Esprit软件来控制。