X 射线计量学

适用于半导体行业的 X 射线计量解决方案

D8 FABLINE 是适用于半导体行业的全自动 X 射线计量工具,还可以用于生产线和包装的前端和后端流程。不论是用于研发还是生产质量控制,D8 FABLINE 都能对空白或结构晶片提供快速、无损、高精确的薄膜分析。D8 FABLINE 专门针对您的应用和需求量身定制。

在 HRXRD 配置中,它提供外延层的厚度、成分和应变分析。它具备 XRR 模式,可测定多个薄层的厚度、密度和粗糙度。配备的 µ-XRF 模块可用于分析金属膜堆的成分和厚度分析。几种应用还可以合并起来。

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