D8-FABLINE, X-ray metrology solution

每台 D8 FABLINE 均具备以下特性:

  • 完全符合 SEMI S2 与 S8 标准
  • 100 毫米至 300 毫米晶圆传送
  • 实现安全晶圆传送和高样品处理量的水平样品架
  • 无应力真空承片台
  • 风机过滤机组 (FFU)
  • 集成式传送机器人(带单个或两个负载端口和预对准器)
  • 实现直接制造集成的 SECS/GEM 接口
  • ISO 2 级认证

工具模块化,根据应用实现最优化。

高分辨率 X 射线衍射

用于 HRXRD 应用的 D8 FABLINE 配备垂直测角仪。. 样品台可倾斜达 45 度,能够测量各种反射。配备高通量密封管、第三代 Göbel 反射镜、单色仪、自动旋转吸收器、分析仪及闪烁探测器或 Lynxeye 探测器,可对镀膜晶圆进行精密、快速分析。可组合数种光束路径。“路径寻找器”负责不同光学器件间的自动切换。

为实现对结构性晶圆产品的超精密 HRXRD 分析,提供光斑尺寸小至 50 微米 x 50 微米的微焦点 IµS 管及高分辨率显微摄像系统(带自动图样识别功能)。

另请阅读更多有关 D8 DISCOVER 的信息,它是我公司用于材料研究应用的先进 X 射线衍射系统。

X 射线反射

用于 XRR 应用的 D8 FABLINE 配备垂直测角仪、高通量密封管、第三代 Göbel 反射镜、自动旋转吸收器及闪烁探测器。. 可添加高精度插入式狭缝、刀锋准直仪和索拉狭缝以调整配置。可针对 XRR/µXRF 组合分析添加 µXRF 模块。

µ-X 射线荧光

用于 µXRF 应用的 D8 FABLINE 配备高亮度微焦点 Mo 或 Rh 源,光斑小至 20 微米 x 20 微米。. X-Flash 探测器可提供最高计数率性能,提供高于 129 (Mn Kα) 电子伏的能量分辨率。这可确保实现最佳峰分离度和最少测量次数。激光测高系统设置光源至样品表面的距离,精度高于 1 微米。借助具有自动图样识别功能的高分辨率显微摄像系统,甚至可确保精准测量最小的样品片。借助基本参数软件,可运用最低标准来校准工具。