S8 FABLINE, X-ray metrology, Surface Contamination Monitoring

工厂表面污染监测

S8 FABLINE-T 解决方案通过 TXRF(全反射 X 射线荧光分析)监测晶圆表面上的痕量金属污染物。它是一种快速、无损的表面敏感技术,无需使用液体。

S8 FABLINE-T 具备完整映射功能,可实现 0 毫米边缘排除测量。它包含多个用于最优化激发轻元素、中等元素和重元素的 X 射线源 。直观的用户界面 (PTO) 可确保工具实现故障保护性运作。全自动晶圆传送装置可接受 300 至 450 毫米的晶圆。此外,系统符合 SEMI S2、S8 和 CE 标准。