Das kryogene Silizium-Analysesystem (CryoSAS) von Bruker Optics ist ein dediziertes Komplettsystem für die Verunreinigungsanalyse an Silizium bei tiefen Temperaturen (<15K). CryoSAS ist optimiert für den Einsatz im industriellen Umfeld.
CryoSAS vereint die Leistungsfähigkeit von Bruker FT-IR-Spektrometern mit integrierter "closed cycle" Technik, die das Abkühlen der Proben und des Detektors ohne flüssiges Helium ermöglicht. Alle CryoSAS-Komponenten sind auf dem neuesten Stand der Technik und basieren auf bewährten Technologien, die eine anspruchsvolle Analytik im Umfeld der Siliziumproduktion ermöglichen. CryoSAS verfügt über ein hohes Maß an Automation einschließlich der automatischen Erstellung des Analysereports.
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Herausragende Merkmale:
Probenraum aus rostfreiem Edelstahl: komfortabler Probenzugriff
Bewährtes Probenraum-Design mit stationärer Optik und automatisiertem Probenkopf. Der große Innendurchmesser des Probenraums erlaubt einen einfachen Zugriff auf den Probenhalter.
Ölfreie Vor- und Turbopumpe: einfache und saubere Hochvakuumtechnik
Schnelles und zuverlässiges Abpumpen via Vor- und Turbopumpe.
Robuster, präziser automatischer Linearantrieb mit neunfach Probenhalter:
Der leistungsstarke Linearantrieb des Probenhalters erlaubt die Messung mehrerer Proben. Das hohe Drehmoment des Antriebsmotors und die robuste Getriebemechanik ermöglichen eine präzise Ansteuerung der Proben und eine zuverlässige Funktion über Jahre hinweg. Der Probenhalter lässt sich komfortabel bestücken und das Einsetzen in den Probenraum geht innerhalb weniger Sekunden vonstatten. Weiterhin stellt das Design des Probenhalters aus goldbeschichtetem OFHC-Kupfer eine gleichmäßige Temperaturverteilung sicher.
