Einfachste Bedienung:
CryoSAS ist optimiert für den Einsatz im industriellen Umfeld. Alle Vakuum- und Tieftemperaturkomponenten werden von einer SPS angesteuert. Der Abkühlvorgang und die Messung können durch einen simplen Knopfdruck auf dem Touchscreen gestartet werden. Der Anwender muss weder ein Spektroskopie- noch ein Vakuum- oder Tieftemperaturexperte sein.
Die CryoSAS-Software ist intuitiv bedienbar und wurde speziell dafür entwickelt, die Anforderungen in der industriellen Qualitätskontrolle zu erfüllen. Der Anwender muss lediglich die gewünschte Analysemethode auswählen, die Probeninformationen eingeben und den Startbutton drücken. Daraufhin kühlt CryoSAS die Proben automatisch ab, startet die Infrarotmessung, wertet die Ergebnisse aus und erstellt einen Analysereport.
Spezifikationen
Spektralbereich: 1500 – 280 cm-1 optimiert für die Messung von
- flachen Störstellen der 3. und 5. Hauptgruppe in einkristallinem Silizium gemäß ASTM/SEMI MF1630. Für gekeilte Proben mit einer Dicke von ca. 3 mm sind die folgenden Nachweisgrenzen erreichbar:
- 10ppta Phosphor
- 30ppta Bor- substitutionellem Kohlenstoff gemäß ASTM/SEMI MF1391. Diese Methode erfordert eine FZ-Referenzprobe mit vernachlässigbarem Kohlenstoffgehalt, deren Dicke und Oberflächenbeschaffenheit möglichst ähnlich zur untersuchten Probe sein sollte. Für gekeilte Proben mit einer Dicke von ca. 3 mm ist eine Nachweisgrenze von 20ppba erreichbar.
Die eingesetzten Technologien sind durch eines oder mehrere der folgenden Patente geschützt: US 7034944; DE 19940981