SI BrickScan

Quantifizierung von interstitiellem Sauerstoff ohne die Präparation dünner Testproben

SBS_4.jpg

SiBrickScan ermöglicht die Analyse von interstitiellem Sauerstoff in Silizium-Ingots bis zu einer Länge von 500 mm. Diese wertvolle Information ermöglicht sowohl die Optimierung des Kristallisationsprozesses als auch die Qualifizierung individueller Ingots vor dem Sägen.

Hochwertige, direkt mit ASTM/SEMI 1188 verknüpfte, Kalibration

SBS_5.jpg

Die SBS-Sauerstoffauswertung nutzt eine Kalibration, die direkt mit ASTM/SEMI 1188 verknüpft ist bzw. von dieser abgeleitet wurde. Da die Korrelation beider Methoden nahezu perfekt ist, kann der interstitielle Sauerstoff mit höchster Genauigkeit quantifiziert werden.

Höchste Nachweisempfindlichkeit mit SBS

Abhängig von Probenform und Eigenschaften (z. B. spezifischer Widerstand) sind mit SiBrickScan Sauerstoffnachweisgrenzen <2ppma (<1017/cm3) erreichbar. Falls Sie an einem Machbarkeitstest interessiert sind, kontaktieren Sie bitte Ihren regionalen Bruker-Repräsentanten.