SI BrickScan

SiBrickScan (SBS) Silizium Ingot Analysator

SiBrickScan (SBS) ist ein dediziertes produktionsnahes ("at-line") System für die FTIR basierte Quantifizierung von interstitiellem Sauerstoff in kompletten Silizium-Ingots. Das Ergebnis ist ein Konzentrationsprofil entlang der Längsachse des Ingots. Der Zugang zu dieser Information, ohne die Notwendigkeit, Testproben oder Wafer zu präparieren, stellt einen signifikanten und kostensparenden Vorteil dar.

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Wertvolle Informationen zur Kontrolle und Optimierung der Produktqualität

Die Kenntnis des Sauerstoffgradienten in Si-Ingots ermöglicht wichtige Schlussfolgerungen z. B. zur Kontrolle und Optimierung des Kristallisationsprozesses oder zur Identifizierung von schlechten Chargen. Somit ist SiBrickScan ein wichtiges Werkzeug zur Kostenersparnis durch Optimierung der Produktqualität und Reduktion der Anzahl fehlerhafter Wafer. Die stichprobenartige Analyse individueller Ingots reduziert den Aufwand der Probenpräparation dramatisch und liefert die relevanten Informationen deutlich früher.

Höchste Messempfindlichkeit durch modernste FTIR-Spektroskopie

Die FTIR-Quantifizierung von interstitiellem Sauerstoff in Si (ASTM/SEMI 1188) ist eine etablierte und wichtige Analytikmethode, die aber auf Probendicken im niedrigen mm-Bereich beschränkt ist. SiBrickScan (SBS) überwindet diese Limitierung und ist das erste kommerziell erhältliche, dedizierte Gesamtsystem zur Ermittlung des Sauerstoffgradienten in kompletten Ingots entlang ihrer Längsachse, ohne die Notwendigkeit, zeitaufwändig dünne Testproben zu präparieren. Hierzu wird beim SBS auf intelligente Weise der sog. Oberton einer Infrarot-Absorptionsbande mittels modernster und zuverlässiger Bruker FTIR-Technologie analysiert und ausgewertet.

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