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Das weltweit erste Fab-basierte AFM-Messgerät

Automatisiertes Atomkraft-Profiling für chemisch-mechanisches Planarisieren und Ätztiefenmessung bei 65 nm.

Das Dimension AFP ist das weltweit einzige Fab-basierte Messgerät, das speziell sowohl für CMP-Profiling als auch für Ätztiefenmessung für aktuelle und fortschrittliche Technologieknoten entwickelt wurde. Das System kombiniert die hervorragende Auflösung eines AFM mit der langen Scanfähigkeit eines Atomkraft-Profilers,

um Ätztiefen und Kümpel und Erosion auf Submikron-Features mit unübertroffener Wiederholbarkeit zu überwachen. Das Dimension AFP ersetzt kostspielige Wafer-Querschnitte und bietet die höchste Leistung, die für die Gerätecharakterisierung auf dem Markt erhältlich ist.

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