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Integriertes ARGUS™ FSE-/BSE-Detektionssystem für eFlash

ARGUS™  Functional Principle

Die eFlash EBSD-Detektoren sind optional mit dem ARGUS™ vorwärts gestreuten (forescattered, FSE) und rückgestreuten Elektronen- (backscattered, BSE) Detektionssystemen – e-Flash1000+ beziehungsweise e-FlashHR+. Dies erhöht die Flexibilität der Detektoren weiter und bietet wertvolle Zusatzinformationen für eine effiziente Mikrostrukturcharakterisierung.

Die beide BSE-Detektoren sind oberhalb des Phosphorschirms angebracht, die drei FSE-Detektoren befinden sich darunter. Diese Positionierung beeinflusst weder die Leistung noch die Nutzerfreundlichkeit des eFlash, der Phosphorschirm bleibt nach wie vor durch den Benutzer austauschbar. Die gesamte Elektronik inklusive der für die FSE-/BSE-Detektoren ist im Gehäuse des eFlash+ untergebracht. Abgesehen von Sicherheits- und Praktikabilitätsaspekten bietet das auch den Vorteil, dass Signalverluste durch die Nähe der Detektoren zu den Vorverstärkern minimiert werden.

BSE-Detektoren für eine verbesserte Bildqualität

Bedingt durch die stark verkippte Probe im EBSD-Modus, produzieren Standard REM-SE- und BSE-Detektoren oftmals verrauschte Bilder geringer Qualität. Die ARGUS™ BSE-Detektoren sind optimal positioniert, um das BSE-Signal von stark gekippten Proben aufzunehmen. Dies betrifft die Anbringung oberhalb des Phosphorschirms sowie die Neigung in Richtung der Probe, beides sorgt für eine sehr gute Signalstärke. Auch kann der EDS-Detektor zwischen beiden BSE-Detektoren hindurchgeführt werden, um so die bestmöglichen Bedingungen für gleichzeitige EDS- und EBSD-Akquisition zu bieten. Das produzierte Signal kann individuell genutzt oder mit dem der FSE-Detektoren gemischt werden.

Farbige Orientierungskontrastbilder mit der ARGUS™ FSE-Detektoren

White Cast Iron Color FSE Image
White cast iron color FSE image
Damascene Steel FSE Image
FSE image of a damascene steel showing a perlitic structure.

Jeder der drei ARGUS™ FSE-Detektoren unterhalb des Phosphorschirms empfängt einen anderen Teil des hochgradig anisotropen gebeugten vorwärts gestreuten Signals (Kikuchi-Pattern). Das ermöglicht es dem ARGUS™-System auch kleinste Signalveränderungen zu detektieren, wenn Orientierungsänderungen beim Abrastern einer polykristallinen Probe auftreten. Durch die Verwendung einer RGB-Farbkodierung zur Darstellung der Signale, können auch kleinste Orientierungsänderungen sichtbar gemacht werden. Dies ist eine einzigartige Eigenschaft des ARGUS™-Systems. (Bei Interesse können weitere Details zum Thema unter A. P. Day et al., Journal of Microscopy, Vol. 195, Pt. 3, September 1999, pp. 186–196 nachgelesen werden.)

Die Signaloptimierung ist schnell und findet dank der kompletten Integration in die ESPRIT-Software vollautomatisch statt. Auch kann das FSE-Signal mit dem BSE-Signal kombiniert werden.

ARGUS™-Bilder haben sowohl wissenschaftliche wie auch praktische Anwendungen.

Monitoring Plastic Deformation with the ARGUS Color FSE Imaging System

Weitere Informationen

ARGUS™– FSE-/BSE-Detektorsystem (PDF Flyer, Englisch)

ARGUS™ Anwendungsbeispiele