Banner for QUANTAX EDS on TEM

Quantitative Analyse am Beispiel von LaB6

Lanthanhexaborid (LaB6) ist ein recht illustratives Beispiel für die quantitative Analyse im S/TEM, da es zwei Extreme enthält, ein sehr leichtes Element (B) und ein schweres (La). LaB6 kann daher genutzt werden um die Leistung der Bruker XFlash® Detektoren und der Cliff-Lorimer-Routine zu demonstrieren.

Die Analyse eines unbekannten Teils der Probe beginnt mit der Identifizierung der vorhandenen Elemente. Die zu quantifizierenden Elemente können durch automatische oder interaktive Routinen definiert werden. Element-Peaks die durch Streustrahlung erzeugt werden (z.B. Cu vom Probenhalter) oder Kontamination (z.B. Kohlenstoff) können lediglich der Entfaltung zugeführt werden. Der nächste Schritt ist der Abzug des Untergrunds. Das dafür vorgesehene physikalische Bremsstrahlungsmodell sorgt für optimale Anpassung. Der dritte Schritt ist die Peak-Entfaltung. Zuletzt wird mithilfe theoretischer oder kalibrierter Cliff-Lorimer-Faktoren quantifiziert.

Ein LaB6-Standard (türkises Spektrum in der Bildergalerie kann dazu verwendet werden, um die Cliff-Lorimer-Faktoren experimentell zu kalibrieren.

Bereits die Resultate unter Verwendung theoretischer CL-Faktoren demonstrieren die ausgezeichnete Leistung von Brukers Cliff-Lorimer Quantifizierung. Sie sind schon sehr nahe an der theoretisch erwarteten Zusammensetzung von 14,29 Atom% und 85,71 Atom% für La bzw. B, wie die Tabellen in der nebenstehenden Galerie zeigen. Die Ergebnisse, wenn statt der La-L- die La-K-Serie benutzt wird, zeigen, dass das QUANTAX-System sehr gut für die Spektrenakquisition und -auswertung oberhalb der 20-kV-Marke geeignet ist.