D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Metrologielösungen für die Halbleiterindustrie

Die Funktionseinheiten von Halbleiter- und Halbleiterverbundgeräten werden immer kleiner und dünner.

 

Zusätzlich werden die Strukturen der Geräte immer komplexer, die Prozesse immer kostspieliger. Daher wächst der Bedarf an zuverlässiger Analytik wie z. B. der Röntgendiffraktometrie für die Prozessentwicklung und At-Line- bzw. In-line-Qualitätskontrolle ständig.

Warum Röntgendiffraktometrie?

Erstens: Röntgendiffraktometrie ist eine zerstörungsfreie Methode für Untersuchungen im Nanometerbereich, die verschiedene wesentliche Materialparameter liefert, ohne dass Referenzen benötigt werden.

Zweitens: Die Methode ist wegen ihrer Genauigkeit und Zuverlässigkeit seit Jahren in Wissenschaft, Forschung und Entwicklung anerkannt. In vielen Fällen genügt eine schnelle Röntgendiffraktionsmessung, um Probenparameter wie z. B. Schichtdicke, Rauigkeit, Dichte und chemische Zusammensetzung, Porosität, Gitterabstand, Gradienten, Fehlanpassungen und Relaxationsgrad, Vorzugsorientierung, Struktur, Belastung und Spannung zu bestimmen - alle mit einer lokalen Auflösung bis zu wenigen 10 µm2.

D8 FABLINE mit Roboter zum Handling von Wafern

Mit der Einführung des D8 FABLINE wird die von der D8 DISCOVER-Familie in Forschung und Entwicklung bekannte analytische Flexibilität und Zuverlässigkeit nun in anspruchsvolle Reinraumumgebungen übertragen. Das D8 FABLINE bietet einen Roboter zum Handling von Wafern von bis zu 300 mm Durchmesser und kann mit 2 FOUP-Ports für Routineaufgaben in der Qualitätskontrolle ausgerüstet werden. Messungen und Datenanalysen können voll automatisiert werden und, falls erforderlich, bietet Bruker AXS einen kompletten Service zur Einstellung der Analytik auf die Prozessanforderungen. Weiterhin kann eine SEC/GEM-Schnittstelle an die Bedieneranforderungen angepasst werden, und Mustererkennung oder Strichcodelesemöglichkeiten können integriert werden.

D8 FABLINE - ein analytisches Arbeitspferd für die Anforderungen der Halbleiterindustrie.

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