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MLplus

Multi- und Dünnschichtanalyse mit XRF

Die Schichtdicke und die chemische Zusammensetzung von Multischichtproben können mit der Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) einfach bestimmt werden. Die Proben werden direkt mit dem wellenlängendispersiven Röntgenfluoreszenzspektrometer (WDXRF) S8 TIGER analysiert.

MLplus ist eine Erweiterung von SPECTRAplus für die Analyse von ein- und mehrschichtigen Proben durch wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDXRF). Die Lösung ermöglicht die direkte Bestimmung der Schichtdicke und -zusammensetzung auf Atomebene (weniger als 1nm) und bis hin zum µm oder sogar mm-Bereich.

MLplus verwendet für alle Berechnungen einen vollständigen Fundamentalparameteransatz. Die Bestimmung von Schichtdicke und -zusammensetzung in MLplus basiert auf der standardlosen Kalibrierung von SPECTRAplus, d. h. es sind keine spezifischen Multischichtstandards erforderlich. Zur Optimierung der Ergebnisse kann jedoch jeder beliebige Multischichtstandard verwendet werden.

MLplus kann nach der Einrichtung eines Modells nach jeder einzelnen Messung eine automatische Auswertung durchführen. Dadurch kann die Multilayeranalyse für die routinemäßige Prozesskontrolle, z. B. bei der Herstellung von Schichtglas oder beschichtetem Stahl eingesetzt werden.