X-ray Metrology, wafer

Dünnschichtanalyse mit Röntgenstrahlen

Das Prinzip der Röntgenmetrologie beruht auf der Dünnschichtanalyse mithilfe von Röntgenstrahlen, sei es zur Bestimmung der Dicke, Zusammensetzung, Dichte und Rauigkeit von (Multi-)Schichten oder der Gitterparameter und des Dehnungsgrades von epitaktisch gewachsenen Schichten. Um die gewünschten Daten zu erhalten, können verschiedene, ergänzende Techniken eingesetzt werden.

Wollen Sie mehr über die verschiedenen Techniken der Röntgenmetrologie erfahren? Unter den nachstehenden Links finden Sie weitere Informationen zu den wichtigsten Methoden der Dünnschichtanalyse mit Röntgenstrahlen, wie z. B. HRXRD, µ-XRF und XRR.