D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Die Röntgenmessungs-Lösung

Die Halbleiterindustrie steht vor der ständigen Herausforderung, kleinere Geräte und reinere Verbindungen bei höheren Durchsatz zu produzieren. Bruker bietet weltweit führende Technologie zur schnellen und präzisen Messung für die Prozessüberwachung an.

 

 

Röntgenmethoden stellen eine nicht zerstörerische Methode dar, um einen großen Satz physikalischer Parameter der Halbleitermaterialien zu erhalten. Mit einer Wellenlänge, die zu den betreffenden Kristallgitterabständen passt, sind Röntgenstrahlen eine natürliche Sonde für Halbleiterproben beliebiger Art.

Für Forschungs- und Entwicklungszwecke oder für die Routinekontrolle in der Fertigung können Scheiben bis zu 300 mm mit ungefähr 50 µm räumlicher Auflösung überwacht werden.  Bruker bietet individuelle Lösungen für Ihre experimentellen Anforderungen an.