D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Das D8 FABLINE wird geliefert mit

  • vollständiger SEMI S2/S8-Konformität
  • Scheibenhandhabung (100 mm bis 300 mm)
  • horizontaler Probenmontage für sichere Scheibenhandhabung und hohen Probendurchsatz
  • spannungsfreier Vakuumfixierung der Scheiben
  • Lüfter-Filter-Einheit (FFU)
  • integriertem Handlungsroboter mit einfachem oder doppeltem Load Port und Prealigner
  • SECS/GEM-Schnittstelle für eine unkomplizierte Integration in die Produktionslinie
  • ISO-Klasse 2

Die Modularität ermöglicht die anwendungsspezifische Optimierung des Tools.

Hochauflösende Röntgendiffraktometrie

Das D8 FABLINE für HRXRD-Anwendungen besitzt ein vertikales Goniometer. Der Probentisch kann bis zu 45° Grad geneigt werden, um die Messung zahlreicher Reflexionen zu ermöglichen. Dank geschlossener High-Flux-Röhre, Göbelspiegel der dritten Generation, Monochromator, automatischem Rotationsabsorber, Analyzer und Szintillations- oder Lynxeye-Detektor können unstrukturierte Scheiben präzise und schnell analysiert werden. Dabei können mehrere Strahlengänge kombiniert werden. Der PATHFINDER übernimmt die automatische Umschaltung zwischen den verschiedenen Optiken.

Für hochpräzise HRXRD-Analysen auf strukturierten Scheiben ist eine Mikrofokus-IµS-Röhre mit einer Spotgröße von bis zu 50 µm x 50 µm in Kombination mit einer hochauflösenden Mikroskopkamera und automatischer Mustererkennung verfügbar.

Mehr Informationen zum D8 DISCOVER - unserem hochentwickelten Röntgendiffraktionssystem für die Materialforschung.

Röntgenreflektometrie (XRR)

Das D8 FABLINE für XRR-Anwendungen besitzt ein vertikales Goniometer und ist mit einer geschlossenen High-Flux-Röhre, einem Göbelspiegel der dritten Generation, einem automatischen Rotationsabsorber sowie einem Szintillationsdetektor ausgerüstet. Hochpräzise Plug-in-Schlitze, eine Schneidblende und Soller-Schlitze können nach Bedarf hinzugefügt werden. Darüber hinaus kann ein µXRF-Modul für kombinierte XRR/µXRF-Analysen angeschlossen werden.

µ-Röntgenfluoreszenz

Das D8 FABLINE für µXRF-Anwendungen besitzt eine hochbrillante Mikrofokus Mo- oder Rh-Röntgenquelle mit Spotgrößen von bis zu 20 µm x 20 µm. Der XFlash-Detektor bietet die höchste Zählrate und eine Energieauflösung von weniger als 129 eV (bei Mn Kα). Dies gewährleistet eine hervorragende Peakauflösung und extrem kurze Messzeiten. Ein Laserhöhensensor legt den Abstand zwischen Röntgenquelle und Probe mit einer Genauigkeit von weniger als 1 µm fest. Eine hochauflösende Mikroskopkamera mit automatischer Mustererkennung sorgt dafür, dass selbst kleinste Pads präzise gemessen werden. Die Fundamentalparametersoftware ermöglicht die Kalibrierung des Tools mit minimalen Standards.