S8 FABLINE, X-ray metrology, Surface Contamination Monitoring

Kontaminationsüberwachung in Produktionsanlagen

S8 FABLINE-T ist die Lösung für die Überwachung von Spurenmetallkontamination an der Scheiben-Oberfläche durch TXRF (Total Reflection X-Ray Fluorescence). Die schnelle, zerstörungsfreie und empfindliche Technik kommt ohne Flüssigkeiten aus.

Das S8 FABLINE-T mit voller Kartierungskapazität ermöglicht Messungen bei vollständiger Randausnutzung (0 mm). Die Lösung enthält mehrere Röntgenquellen für die optimale Anregung von leichten, mittleren und schweren Elementen. Die intuitive Benutzeroberfläche (PTO) ermöglicht eine fehlersichere Bedienung des Gerätes. Die vollautomatische Scheibenhandhabung unterstützt 300 mm bis 450 mm große Scheiben. Darüber hinaus erfüllt das System die Anforderungen von SEMI S2/S8 und ist CE-konform.

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