D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Soluciones metrológicas para el sector de semiconductores

Las unidades funcionales de semiconductores y dispositivos de semiconductores compuestos disminuyen continuamente su tamaño y espesor.

 

Además, la estructura de los dispositivos resulta más compleja y el proceso más caro. Por eso, aumenta permanentemente la demanda de equipos analíticos fiables, como la difracción de rayos X, para el desarrollo de procesos y el control de calidad "en línea" y "sobre el terreno".

¿Por qué difracción de rayos X?

Primero, la difracción de rayos X es un método no destructivo a la escala nanométrica que suministra parámetros de material esenciales sin necesidad de referencia.

Segundo, el método es conocido y aceptado por su precisión y fiabilidad desde hace muchos años en la ciencia, la investigación y el desarrollo. En muchos casos, se requiere solo una medida de difracción de rayos X rápida para determinar parámetros de muestra como el espesor de capa, la rugosidad, la densidad, la composición química, la porosidad, la distancia de la red cristalina, los gradientes, las malas adaptaciones, el grado de relajación, la orientación preferida, la textura, la tensión y la torsión, todo con una resolución local de solo unos 10 µm cuadrados.

D8 FABLINE presenta un robot para la manipulación de obleas

Con la introducción de D8 FABLINE, la flexibilidad y la fiabilidad analíticas conocidas de la gama de productos D8 DISCOVER, utilizada en la investigación y el desarrollo, se han transferido ahora a entornos de sala blanca exigentes. El sistema D8 FABLINE dispone de un robot para la manipulación de obleas con un diámetro de 300 mm y también se puede equipar con dos puertos FOUP para el análisis de rutina en control de calidad. Las medidas y el análisis de datos pueden automatizarse íntegramente y, si resulta necesario, Bruker AXS provee el servicio completo para ajustar el sistema a los requisitos del proceso. Además, también es posible adaptar una interfaz SEC/GEM a los requisitos del usuario e integrar capacidades de reconocimiento de configuraciones o de lectura de códigos de barras.

D8 FABLINE: un sistema analítico muy útil para requisitos en materia de semiconductores.

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