X-ray Metrology, wafer

Análisis de películas delgadas mediante rayos X

La metrología de rayos X trata básicamente sobre el análisis de películas delgadas mediante rayos X, para la determinación de la composición y el grosor de las multicapas, la densidad y rugosidad, los parámetros de red o el grado de tensión en las películas con crecimiento epitaxial. Se pueden aplicar varias técnicas complementarias para obtener los datos que se desean.

¿Le interesa saber más acerca de las tecnologías de metrología de rayos X? Los siguientes enlaces proporcionan información sobre los métodos más importantes para la caracterización de películas delgadas con rayos X, como HRXRD, µ-XRF y XRR.