D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Solución de metrología de rayos X

La industria de los semiconductores se enfrenta continuamente al desafío de producir dispositivos más pequeños y compuestos más puros, todo con un rendimiento superior. Bruker ofrece la tecnología líder en todo el mundo para mediciones rápidas y precisas para el control del proceso.

 

Los métodos de rayos X proporcionan una forma no destructiva de obtener un amplio conjunto de parámetros físicos de materiales semiconductores. Con una longitud de onda que combina los espacios de la red cristalina participantes, los rayos X son la prueba natural de cualquier tipo de muestra de semiconductores.

Se permite el control de obleas de hasta 300 mm con una resolución espacial de unos 50 µm, tanto con fines de I+D como de control de producción rutinario. Bruker ofrece soluciones personalizadas para satisfacer sus necesidades experimentales.