D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Cada D8 FABLINE incluye

  • Plena conformidad con las normas SEMI S2 y S8
  • Manejo de obleas de silicio de 100 mm a 300 mm
  • Soporte horizontal de la muestra para el manejo seguro de las obleas y un alto rendimiento de introducción de muestras
  • Porta muestra con vacío para mantener las obleas sin restricción
  • Ventilador con filtro (FFU)
  • Robot de manejo de obleas integrado con un puerto de carga simple o doble y alineador previo
  • Interfaz SECS/GEM para la integración directa con la fabrica
  • Norma ISO clase 2

La modularidad de la herramienta permite la optimización según sus aplicaciones.

Difracción de rayos X de alta resolución

El D8 FABLINE para aplicaciones HRXRD presenta un goniómetro vertical. La plataforma de la muestra se puede inclinar hasta 45° para permitir la medición de una serie de reflexiones. Equipado con tubo sellado de alto flujo, un espejo Goebel de tercera generación, monocromador , atenuador rotativo automático, analizador y detector de centelleo o detector Lynxeye, se obtiene un análisis preciso y rápido de las obleas sin estructuras. Se pueden combinar varias direcciones ópticas para el haz. El PATHFINDER se encarga de la conmutación automática entre las diferentes ópticas.

Para el análisis HRXRD ultrapreciso en obleas estructuradas, se utiliza un tubo micro foco IµS con un tamaño de haz puntual hasta 50 µm x 50 µm en combinación con un video microscopio de alta resolución y reconocimiento automático de las formas estructuradas.

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Reflectividad de rayos X

El D8 FABLINE para aplicaciones XRR tiene un goniómetro vertical y está equipado con un tubo sellado de alto flujo, un espejo Goebel de tercera generación, un atenuador rotativo automático y detector de centelleo. Para adaptar la configuración pueden encajar rendijas de alta precisión, un cuchillo anti-dispersión o rendijas de Soller. Es posible añadir un módulo µXRF para análisis combinados XRR/µXRF.

Fluorescencia de rayos X µXRF

El D8 FABLINE para aplicaciones µXRF incluye un microfoco de alto brillo Mo o Rh con haz puntual de 20 µm x 20 µm. El detector X-Flash ofrece la máxima capacidad de tasa de contaje y una resolución de energía superior a 129 eV (Mn Kα). Eso garantiza la máxima resolución y el menor tiempo de medida. Un sistema de medida rápido de altura con un láser establece la distancia entre la fuente y la superficie de la muestra con una precisión mayor de 1 µm. El video microscopio de alta resolución con reconocimiento automático de las formas estructuradas asegura mediciones precisas de las pastillas más pequeñas. El software utiliza los parámetros fundamentales de la fluorescencia y así permite calibrar la maquina con un mínimo número de estándares.