S8 FABLINE, X-ray metrology, Surface Contamination Monitoring

Control de contaminación de la superficie de las obleas en fábrica

El S8 FABLINE-T es la solución para el control de la contaminación de trazas de metales en la superficie de la oblea por TXRF (fluorescencia de rayos X de reflexión total). Es una técnica rápida con una detección muy sensible que no destruye la superficie y que no requiere el uso de fluidos.

El S8 FABLINE-T tiene plena capacidad de mapeo con la medida de exclusión del borde de 0 mm. Contiene múltiples fuentes de rayos X para la excitación óptima de los elementos ligeros, medianos y pesados. La interfaz de usuario intuitiva (PTO) garantiza el funcionamiento de la maquina sin fallos. El manejo automático completo de la oblea acepta obleas de 300 mm y 450 mm. Además, el sistema es conforme a las normas SEMI S2, S8 y CE.