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Solution de métrologie pour fabrication MEMS

Les fabricants de systèmes microélectromécaniques (MEMS) s'appuient sur des systèmes de métrologie fiables pour contrôler leurs processus et vérifier la performance de leurs produits. Des mesures précises des géométries et des surfaces dans les différents procédés de fabrication MEMS sont essentielles pour réaliser les performances souhaitées des dispositifs, tels que les capteurs, les actionneurs, les RF-MEMS et les microfluidiques. La grande variété de dispositifs MEMS en développement et en production nécessite une métrologie très flexible pour la caractérisation en une seule plate-forme.

 

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Les microscopes optiques 3D de la série Contour de Bruker, heureusement, sont assez souples pour répondre à la plupart des besoins de mesure MEMS. La méthode de mesure à grande vitesse et sans contact basée sur la technologie d'interférométrie de lumière blanche leader sur le marché de Bruker permet à la fois les grandes gammes latérales et verticales avec une résolution verticale au niveau du nanomètre et une reproductibilité et une reproductibilité inégalées des données. De plus, le système de métrologie ContourGT-X offre l'option d'ajouter un gestionnaire de plaquettes entièrement intégré pour obtenir la solution d'automatisation ultime.

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