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Le seul outil de métrologie AFM au monde basé sur Fab

Profilage automatisé à forces atomiques pour la planarisation chimico-mécanique et la métrologie des gravures à 65 nm.

Le Dimension AFP est le seul outil de métrologie au monde qui a été spécialement conçu pour le profilage CMP et pour la métrologie des profondeurs de gravures, aussi bien pour les nœuds technologiques courants que pour les nœuds sophistiqués. Ce système associé la superbe résolution d'un ensemble AFM et les capacités à long balayage d'un

profileur à forces atomiques pour contrôler chaque profondeur et creux et érosion sur des éléments inférieurs au micron, avec une répétabilité incomparable. Remplaçant la coupe onéreuse de plaquettes, le Dimension AFP offre les performances les plus élevées du marché en matière de caractérisation de dispositif.

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