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Résolution de niveau atomique pour tous les besoins en métrologie de 450 mm

Une solution de métrologie pour la profondeur, le CD, l'angle de la paroi latérale, le profil et la rugosité pour les gaufres pleines de 450 mm.

Basé sur la plate-forme InSight® 3DAFM éprouvée pour 300mm, la 3DAFM InSight-450 est idéale pour une large gamme d'applications de rugosité, de profondeur et de CD. Les capacités comprennent la validation du processus de la plaie nu, la caractérisation de la rugosité et la métrologie des défauts des puits / bosses / rayures; Qualification de substrat entrant; Film mince et performance de dépôt épitaxial avec rugosité micro / nano et précision de hauteur de pas de niveau angstrom; Metrologie de profondeur de gravure pour le développement et le contrôle des processus, des mesures de profil de résistance en ligne de CD, SWA et

LER avec des profils TEM complets; Et la performance de la planéité CMP pour surveiller le rayonnement et l'érosion. La flexibilité de l'AFM InSight-450mm signifie que toutes ces applications sont disponibles dans un seul outil, ce qui réduit le coût global de la métrologie. Le 3DAFM InSight-450 offre cette fonctionnalité sans modélisation requise, une traçabilité NIST complète et aucun dommage matériel ou de plaquettes, ce qui en fait l'outil idéal pour fournir un apprentissage précoce dans un développement de processus de 450 mm avec une évolutivité à 450 mm de production.