InSight 450 - Automated AFM

Metrologie de dimension supérieure, profondeur et rugosité

Le 3DAFM InSight-450 est la plate-forme AFM automatisée la plus avancée pour la métrologie intégrale et fabuleuse. Étendre les avantages de la plate-forme InSight standard à 450 mm, tels que le palier à air X-Y haute précision, l'échange automatique de pointe DSP à haute vitesse et notre contrôle breveté CD afm. Tous les efforts ont été faits pour minimiser l'impact de la mise à l'échelle sur les performances du système AFM et il montre avec la réunion InSight-450 ou la performance du système 300mm.

 

Principales caractéristiques

  • Fournit une métrologie de référence pour les éléments CD cruciaux comme les structures à double damascène, les angles des parois latérales, les variations de ligne et plus
  • Maintient l'incertitude de mesure la plus basse pour la dimension critique (CD) et la métrologie de l'angle de la paroi latérale (SWA)
  • Couverture complète de plaquettes, précision TEM et aucun dégagement de plaquettes
  • Plate-forme entièrement automatisée  comprenant l'enregistrement des plaquettes, l'échange de pointe, la qualification des pointes, les recettes et plus encore.
  • Résolution AFM pour la caractéristique de rugosité des plaques nures et minces
InSight measurements
InSight 3DAFM reference metrology.