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La meilleure résolution en énergie pour l'analyse en MET

Icon Energy Resolution

XFlash® 6 pour MET est disponible avec une résolution ultime de 126 eV sur Mn Kα, fournissant le confort nécessaire à l'analyse d'échantillons complexes.

Résolution des détecteurs XFlash® 6

Résolution sur
Mn Kα / eV
Résolution sur
F Kα / eV
Résolution sur
C Kα / eV
1266051
1296757

 

Ces résolutions sont mesurées selon la norme ISO 15632:2012.

Deconvolution Results of a NiSi(Pt) Spectrum
Deconvolution results at low X-ray energy of a spectrum obtained from a NiSi(Pt)-NiSi2 junction on Si. The experimental spectrum is displayed as black outline and the deconvoluted quantified lines as solid colored peaks.

 

L'intérêt d'une excellente résolution spectrale à basse énergie est illustré par cet exemple donné par les semiconducteurs. La déconvolution des pics, nécessaire à une quantification fiable, est considérablement facilitée si le détecteur produit des pics minces. La figure montre que même pour une interférence forte telle que Pt N et C K, le résultat est excellent.