D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Des solutions métrologiques pour l'industrie des semi-conducteurs

Les unités fonctionnelles des dispositifs à semi-conducteurs et à agents et semi-conducteurs sont de plus en plus petites et minces.

 

En outre, la structure de ces dispositifs devient de plus en plus complexe et les procédés deviennent de plus en plus onéreux. De ce fait la demande en résultats analytiques fiables (par exemple, par diffraction des rayons X), ainsi que le développement de procédés et le contrôle de la qualité sur la chaîne ou en ligne augmente sans arrêt.

Pourquoi utiliser la diffraction des rayons X ?

Premièrement : la diffraction des rayons X est une méthode non-destructive de sondage à l'échelle nanométrique et fournit divers paramètres essentiels sur les matériaux sans avoir à les comparer à des références.

Deuxièmement : cette méthode est connue et acceptée pour sa précision et sa fiabilité depuis des années dans les secteurs de la science, la recherche et le développement. Dans de nombreux cas, une simple mesure de diffraction des rayons X suffit pour déterminer des paramètres d'un échantillon dont, l'épaisseur des couches, la rugosité, la densité et la composition chimique ainsi que la porosité, l'espacement, la distance réticulaire, les défauts de correspondance en matière de gradients, le degré de relaxation, l'orientation préférentielle, la texture, les contraintes - le tout avec une résolution locale pouvant aller jus'à environ 10 µm carrés.

Le D8 FABLINE comporte un robot de manipulation des plaquettes

Grâce au lancement du D8 FABLINE, la flexibilité et la fiabilité, sur le plan analytique, qui ont fait la réputation de la famille D8 DISCOVER utilisée dans les secteurs de la recherche et du développement, peuvent aujourd'hui être reproduites dans le milieu très exigeant des salles blanches. Le D8 FABLINE comporte un robot de manipulation des plaquettes (jusqu'à 300 mm de diamètre) et peut également être équipé de deux ports FOUP qui permettent d'effectuer des activités analytiques courantes dans le domaine du contrôle de la qualité. Les mesures et l'analyse des données peuvent être entièrement automatisées et, si besoin est, Bruker AXS peut proposer un service complet d'ajustement de l'analytique en fonction des besoins d'un procédé. Qui plus est, l'interface SEC/GEM peut être adaptée aux besoins de l'utilisateur et des fonctionnalités de reconnaissance de profils ou de lecture de codes à barres peuvent être intégrées.

D8 FABLINE – un véritable cheval de labours pour tous les besoins dans le secteur des semi-conducteurs.

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