D8-FABLINE, X-ray metrology solution

La solution métrologique par rayons X

L'industrie des semi-conducteurs doit constamment relever de nouveaux défis pour produire des dispositifs de plus en plus petits et des mélanges de plus en plus purs, tout en accélérant les cadences. Bruker propose une technologie de pointe sur le plan international pour procéder à des mesures rapides et précises de surveillance de procédés.

 

Les méthodes à rayons X permettent d'obtenir, de manière non destructive, un large éventail de paramètres physiques de matériaux semi-conducteurs. Avec une longueur d'ondes qui correspond aux espacements du canevas cristallin impliqué, les rayons X constituent le moyen naturel de sonder n'importe quel type d'échantillon semi-conducteur.

La surveillance de plaquettes pouvant atteindre 300 mm, avec une résolution spatiale d'environ 50 µm, est tout à fait possible, que ce soit pour des activités de recherche et développement ou pour un contrôle routinier de la production. Bruker propose également des solutions faites sur mesure qui correspondent à vos besoins sur le plan expérimental.

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