D8-FABLINE, X-ray metrology solution

Chaque D8 FABLINE est livré avec

  • Conformité totale avec les normes SEMI S2 et S8
  • Manipulation des plaquettes de silicium de 100 mm à 300 mm
  • Support d'échantillon horizontal pour une manipulation sûre de la plaquette et un débit élevé des échantillons
  • Support d'échantillon horizontal pour une manipulation sûre de la plaquette et un débit élevé d’introduction d’échantillons
  • Porte échantillon avec du vide pour tenir les plaquettes sans contrainte
  • Ventilateur avec filtre (FFU)
  • Robot intégré avec un port de chargement simple ou double et un pré-aligneur pour la manipulation des plaquettes
  • Interface SECS/GEM pour intégration directe avec l’usine de fabrication
  • Norme ISO Classe 2

La modularité de l'outil permet une optimisation conforme à vos applications.

Diffraction haute résolution par rayons X

Le D8 FABLINE pour les applications HRXRD dispose d'un goniomètre vertical. Le porte échantillon peut être basculé de 45° pour permettre une vaste gamme de mesures de réflexions. Le D8 est équipé d'un tube scellé à flux élevé de rayons X, d'un miroir de Goebel de troisième génération, d'un monochromateur, d'un absorbeur rotatif automatique, d'un analyseur et d'un détecteur à scintillation ou un détecteur Lynxeye. Une analyse précise et rapide est obtenue pour les plaquettes non structurées. Plusieurs directions de faisceaux peuvent être combinées. Le PATHFINDER prend soin de la commutation automatique entre les différentes optiques.

Pour une analyse ultra-précise HRXRD sur les plaquettes de silicium structurées, un tube IµS à micro-focus ponctuel de 50 µm x 50 µm est proposé en combinaison avec un vidéo-microscope à haute résolution pour une reconnaissance automatique des formes de structures.

Veuillez également lire les informations sur le D8 DISCOVER - notre système de pointe en matière de diffraction des rayons X pour des applications relatives à la recherche des matériaux.

Réflectométrie par rayons X

Le D8 FABLINE pour les applications XRR dispose d'un goniomètre vertical et est équipé d'un tube scellé à flux élevé de rayons X, d'un miroir de Goebel de troisième génération, d'un absorbeur rotatif automatique et d'un détecteur à scintillation. Des fentes enfichables de haute précision, un couteau anti-diffusion et des fentes de Soller peuvent être ajoutés pour personnaliser la configuration. Il est possible d'ajouter un module µXRF pour des analyses combinées XRR/µXRF.

Fluorescence par rayons µ-XRF

Le D8 FABLINE pour les applications µXRF est fourni avec une source Mo ou Rh à micro-focus de haute brillance ponctuel jusqu'à 20 µm x 20 µm. Le détecteur X-Flash offre une capacité de taux de comptage des plus élevé et une résolution énergétique supérieure à 129 eV. Ceci garantit une résolution maximale et des temps de mesure plus courts. Un système de mesure rapide de hauteur par laser définit la distance entre la source et la surface de l'échantillon avec une précision supérieure à 1 µm. Un vidéo- microscope à haute résolution avec reconnaissance automatique des formes structurées nous assure que même les plus petites pastilles sont mesurées avec précision. Un logiciel utilisant les paramètres fondamentaux de la fluorescence X permet de calibrer l'outil avec un minimum de standards.

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