S8 FABLINE, X-ray metrology, Surface Contamination Monitoring

Surveillance de la contamination de la surface de plaquette de silicium

Le S8 FABLINE-T est la solution permettant de mesurer la contamination de métal à l'état de trace sur la surface de la plaquette par TXRF (fluorescence des rayons X à réflexion totale). C'est une technique rapide, avec une détection très sensible, non-destructrice, ne nécessitant aucune utilisation de fluides.

Le S8 FABLINE-T dispose d'une grande possibilité de cartographie avec des mesures pouvant aller jusqu’ à 0mm du bord d'exclusion. Il contient plusieurs sources de rayons X pour l'excitation optimisée des éléments légers, moyens et lourds. L'interface utilisateur intuitive (PTO) assure un fonctionnement optimum de la machine. La manipulation par robot est complètement automatisée et accepte des plaquettes de 300 mm et 450 mm. De plus, le système est conforme aux normes SEMI S2, S8 et CE.