AFMを利用した試料の電気特性測定は広く使用されており、形状測定、機械的特測定に次ぐ比率を占めている。Contact mode, Tapping, modeおよびPeakForce Tapping modeを使用した、微小電流(CAFM)、広がり抵抗(SSRM)、静電容量(SCM)、表面電位(KPFM)、静電気力(EFM)等を測定するためのプローブ選択方法について解説します。(約25分)
ライフサイエンス用AFM測定は、
AFMを利用した試料の電気特性測定は広く使用されており、形状測定、機械的特測定に次ぐ比率を占めている。Contact mode, Tapping, modeおよびPeakForce Tapping modeを使用した、微小電流(CAFM)、広がり抵抗(SSRM)、静電容量(SCM)、表面電位(KPFM)、静電気力(EFM)等を測定するためのプローブ選択方法について解説します。
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