SI BrickScan

薄型試料準備不要の格子間酸素定量

SBS 4

SiBrickScan は、シリコンインゴット中の格子間酸素を最大長さ500mm まで分析できます。得られた貴重な情報により、結晶化プロセスの最適化、切断前の各インゴットの定性分析が可能となります。

ASTM/SEMI 1188 連携の高品質キャリブレーション

SBS 5

SBS 酸素評価は、ASTM/SEMI 1188 と相互リンクしたキャリブレーションを使用しています。両手法はほぼ完璧に連携しているので、格子間酸素濃度を最高精度で評価可能です。

SBS による最高検出感度

試料の形状・特性(例:硬度) 次第で、SBS は格子間酸素をlimits < 2ppma (< 1017/cm3) まで分析できます。実験可能性試験測定にご興味がありましたら、ブルカーの日本オフィスにご連絡ください。