SI BrickScan

シリコンインゴット酸素分析システム

SiBrickScan (SBS) は、インゴット中の格子間酸素を非破壊で定量出来る新たなシステムです。特にインゴットの長軸方向の酸素濃度プロファイルをダイレクトに測定できるため、分析の効率が飛躍的に向上します。

SBS 1

品質を極める

シリコンインゴット中の酸素傾度は、たとえばシリコンの結晶化プロセス管理や欠陥原料の判別等に有用な情報です。SBS により対象物の品質が最適化され、なおかつ不完全ウェハーが削減されるので研究費用を抑えられます。個々のインゴットをランダムにサンプリングすることで、試料準備の手間が省け、必要な情報をより速く取得することが可能となります。

最高感度FT-IR

赤外分光法 (ASTM/SEMI 1188) による格子間酸素定量は良く知られている分析法ですが、試料は低mm 域の薄いシリコンに限られていました。SiBrickScan (SBS) はこのハードルを乗り越え、インゴットの長軸方向の酸素濃度プロファイルを、従来の様に薄い試料を準備する手間や破壊すること無くダイレクトに測定できる、商業化されたものとしては史上初のシステムです。SBS は、ブルカーが誇る最高のFT-IR テクノロジーにより、赤外倍音吸収帯をスマートに活用しています。

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