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製造対応の全自動計測

Contour Elite™ Xは、高い信頼性で数値測定が可能な、実績のある計測(nm未満から10 mm超まで)を行い、さらに比類なきZ軸方向の分解能と正確度を備えています。特許取得のヘッド内傾斜機能、自己校正レーザー基準、特許申請中のデュアルLED照明、パターン認識、さらに干渉法に関する独自の革新技術を多数装備しており、非常に高い計測性能と使いやすさを実現しています。

 

 

製造対応の機能として、耐振動性の計測テクノロジー、12インチのステージ、ステージのエンコード、X、Y、Z方向の移動をプログラミング可能な全自動タレット、および数千のデータセットを正確にステッチングしてシームレスに1つの画像に合成する機能があります。非常に広い製造用途にわたって、このような正確度、スループット、および使いやすさを備えた光学計測システムは他にありません。

 

 

主な特徴:

  • 高い繰り返し性で数値測定できる表面のデータを定量的に収集
  • 高速非破壊イメージングと、リアルタイムでの計測の自動最適化
  • 高忠実度のカラー/グレースケールイメージング
  • 業界最高の横方向と縦方向の分解能
  • 防振機能を内蔵した据え置き型
  • 特許取得のデュアルLED光源とステージ照明
  • 柔軟性の高い固定方法を備えた、自動の12インチXYサンプルステージ
  • 使いやすくカスタマイズ可能な製造インターフェイス
  • フィルターおよびカスタマイズ可能な分析オプションの充実したライブラリー
Contour Elite X stage
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