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堅牢な生産環境向けの   ゲージ性能

ContourGT-Xは、ブルカー独自の干渉法テクノロジーによる他に類を見ない測定機能とイメージング機能に加えて、独自の内蔵レーザー基準とカスタム設計の工業用キャビネットを装備して、最高の安定性と堅牢性を実現します。システムはすぐに自動化できるように構成されており、ウェハーのX、Y、Z配置精度を高める空気テーブルスタビライザーキットから、PDU、EMO、および真空システムを内蔵するための最適化、およびオートローダーのエンドエフェクターの互換性のために改良した真空チャックまで、ほとんどあらゆる生産環境に合わせて短時間で最適化するために必要なすべてのものが含まれています。

主な特長

  • 特許取得済みのデュアルLED光源を採用した独自の計測センサー設計
  • 自己校正機能付きの計測を最適化するレーザー基準
  • 一体型防振床置キャビネット
  • 完全自動化された測定機能(焦点、光量、傾斜調整、ステージ移動、ズームレンズ)
  • 高S/N比でナノメートルスケールの分解能
  • 合理化されたカスタマイズ可能な生産インターフェース
  • 測定の最適化をリアルタイムに自動実行
  • フィルターとカスタマイズ可能な分析オプションを豊富に揃えたライブラリー
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ContourGT-X automated routine on wafer
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