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MEMS製造向け計測ソリューション

微小電気機械システム(MEMS)のメーカーは、プロセスを管理し、製品の性能を確認するにあたり、信頼できる計測システムに頼っています。センサー、アクチュエーター、RF-MEMS、マイクロ流体などの装置で求められる性能を達成するためには、さまざまなMEMS製造プロセスで幾何学的特徴および表面を正確に測定することが欠かせません。開発および製造段階のMEMS装置は多様であるため、単一のプラットフォームで特性分析を行うためには、きわめて柔軟性の高い計測手法が必要です。

 

さいわい、ブルカーのContourシリーズ3D光学顕微鏡は、ほとんどのMEMS測定ニーズに対応できる柔軟性を備えています。業界をリードするブルカーの白色干渉計技術をベースにした高速の非接触型測定手法により、広い水平および垂直範囲とナノレベルの垂直分解能、比類のないデータ繰り返し性および再現性が実現します。さらに、ContourGT-X計測システムでは、オプションで完全統合型のウエハハンドリングを追加し、究極の自動化ソリューションを実現することも可能です。  

MEMS 265x265

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