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世界唯一のファブ向けAFM計測ツール

65 nmにおける化学機械平坦化およびエッチ計測のための原子間力プロファイリングを  自動化

Dimension AFPは、現在および将来のテクノロジーノードのCMPプロファイリングとエッチ深さ計測の両方に対応するように特別に設計された世界唯一のファブ向けの計測ツールです。AFMの優れた分解能と原子間力プロファイラーの長距離スキャン機能を統合し、高い再現性でミクロン未満の形状のエッチ深さおよびディッシングと浸食を監視します。

Dimension AFPは、高コストのウェハーのクロスセクションの代わりに、デバイスの特性解析を実行できる最高の性能を提供します。