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PSS(パターンドサファイアサブストレート)向けAFM

現在そして将来に向けて卓越した分解能で先進的な自動計測/生産機能を提供

ブルカーのDimension Edge™ PSS AFMとAutoMET™計測分析ソフトウェアは、LEDサブストレートとエピタキシャルのメーカー向けの理想的なナノ計測/ナノ検査システムです。Dimension Edge AFMプラットフォームを拡張したEdge PSSは、Dimension AFMシステムのよく知られている驚くべき価値と分解能を備えており、同時に基板測定専用のソリューションを提供します。

Dimension Edge PSS Automet wafer Image
3D AFM image of flat-top patterned sapphire substrate.

このシステムは、パターンドサファイアサブストレート(PSS)のサプライヤーのニーズを満たすために特別に設計されたブルカー独自のAutoMET計測分析ソフトウェアを搭載し、同等クラスのAFMではこれまで見られなかったレベルの自動化と使いやすさを実現します。

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