FastScan Pro Header mockup 1154x400

半導体の自動計測

FastScan Pro Wafer v1


ベアウエハーの粗さ計測および欠陥レビュー特性分析


ノードが10 nm未満の電気デバイスの特性分析とエラー分離


ステップの高さと幅が正確な計測

 

高輝度LEDおよび太陽光発電

Dimension FastScan Pro LED v1

高輝度LEDのパターンサファイア(PSS)の深さと形状の自動計測

高輝度LED基板の正確な粗さ

高輝度LEDおよび太陽光発電材料の電気的特性

データストレージ

FastScan Pro Data Storage v1
正確度と分解能が非常に高く、高スループットで製造ベースのスライダー計測

卓越した分解能によるメディア基板の粗さと欠陥レビュー特性分析

ウエハー、メディア、およびスライダーの電磁エラー特性分析

ポリマーおよび薄膜

FastScan Pro Polymers and THins Films v1

品質管理を目的とした高スループットの表面形状計測

表面形状と機械的特性を同時にマッピング

多様なブロックのコポリマーに適する

MEMSの製造

FastScan Pro MEMS v1
粗さ、高さ、形状の自動計測


アクチュエーターの機械特性分析(変位、歪み)

MEMSデバイスの電気特性分析