Dimension Pro
Dimension Pro
Dimension Proシリーズは200mm/300mmのウエハーのフルアクセスに対応し、Icon/FastScanいずれか、または両方のヘッドが選択できます。標準付属のAutoMetソフトウェアを使えばプログラムされた複数個所の測定をワンクリックで実現します。
生産現場の多様性に対応
Dimensionプラットフォームは、ポリマー、半導体、データストレージ、高輝度LED、マイクロディスプレイなどの業界で最大の納入実績を有します。HPIおよびPROはオープンアクセスプラットフォームにより、大型または複数サンプルホルダーなど、大量測定に適したアクセサリーやソフトウェアなどの効率化、最適化のためのオプションを搭載することで、最先端のAFM技術を提供します。Dimension Proは、セミコンダクター、データストレージ、HB-LED用に2インチから12インチまでのウェハの自動測定を実現します。特徴は、200mmウェハまたは200mm径エリアの複数のサンプルにフルアクセスするためのXYサンプル移動量を増やし、300mmウェハ用のオプションのチャックを備えていることです。また、トポグラフィ、粗さ、その他の計測分析用の高スループット5～10倍速FastScanスキャナー、または、より大きなスキャンと高精度のトポグラフィ性能を実現する90μmスキャンレンジのIconスキャナーのいずれかを選択することができます。
QA / QC / FAにおける効率的かつ最も確実なナノスケール計測のためのソリューションです。
自動化ソフトウェアで生産現場をパワフルにサポート
AutoMET™フルレシピソフトウェアは、高速で自動化された計測、シンプルな操作、およびAFMの適応性を提供し、生産現場で必要とされる重要な測定値から品質の高い測定値を簡単に取得することができます。
このソフトウェアは、複数の場所でのナノスケール特性評価のために、複数のサンプルまたは単一の大型サンプルの自動測定を可能にします。また、光学的およびAFMイメージングのパターン認識、チップセンタリング、フルウェーハまたはグリッドマッピングのサポート、数十ナノメートル以内のイメージ位置精度を提供します。包括的でありながらシンプルなレシピ書き込みにより、上級者向けのリアルタイムおよびオフラインでの使用が可能です。
このソフトウェアにより、複数のサンプルまたは単一の大型サンプルの自動測定が可能になり、複数の場所でのナノスケールの特性評価を可能にします。また、光学およびAFM画像パターン認識、チップセンタリング、ウェハまたはグリッドマッピングのフルサポート、数十 nm 以内の画像位置精度を提供します。包括的でありながらシンプルなレシピ作成機能により、上級者の方向けのリアルタイムかつオフラインでの使用が可能です。
精密なプローブサンプル制御
独自の技術により、サンプル上の任意の原子に対するピンポイントフォースが可能になります。この精密なプローブからサンプルへの制御により、ソフトポリマー、薄膜、電気サンプルから硬質材料まで、幅広い種類のサンプルを使用できます。また、利用可能な最も低いイメージング力と、何百ものエンゲージとデータスキャンに対する長いプローブ先端寿命を提供します。
Dimension FastScan Pro データギャラリー
