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Dimension FastScan Pro

On Off Bruker FastScan Pro AFM Brochure

高分解能のイメージングと非常に高精度な計測

PeakForce Tapping® が整合性のある高分解能AFMイメージングを可能に


Slide 1 mockup short

独自のテクノロジーによりサンプル上の任意の原子に微小な力を付加可能



プローブ-サンプル間制御が非常に高精度であるため、柔らかいポリマー、薄膜、電気的サンプルから非常に硬い材料まで、あらゆる種類のサンプルを計測できます。


高精度のプローブ-サンプル間制御と独自のプローブテクノロジー



イメージングできる力の下限が非常に低く、プローブ先端の長寿命化を実現し、数百回以上の使用とデータスキャンが可能です。

FastScan Pro ScanAsys tAir PFT v1

粗さの小さいガラス基板(Rq=0.194 nm、Ra=0.153 nm)

どのような計測対象でも比類なき定量結果

PeakForce TappingのpNレベルのフォース感度により定量データを提供


FastScan Pro trench resolution v2

ScanAsyst® およびブルカーの標準プローブは、深さが約65nm、幅が約50 nmの溝の底部に容易に届きます。

 

高アスペクト比の溝をnm以下の複数ステップで計測



非常に高分解能のAFMトポロジーにより、Åレベルの分解能でnmステップ計測を実現しています。さらに、ブルカーの産業用プローブとPeakForce Tappingは、このクラスの他のシステムでは使用できない高アスペクト比の深度計測が可能です。

製造環境で大量のデータを一貫した分解能で分析



Dimensionのプラットフォームでは、単一の大型サンプルバッチ、または効率向上の目的で複数の小さいサンプルバッチの読み込みが可能であり、スループットが高いことからFastScanおよびIconテクノロジーの性能を最大限に発揮できます。

FastScan Pro 3D geometry v1

半自動の1日24時間、365日の運用により、3D形状の特性分析をプロセス制御に活用できます。

使いやすく、どのユーザーもAFM熟練者に

AFMの熟練度にかかわらず、精度と正確度の高い計測を実現

FastScan Pro Recipe Window v1

ウエハー内のユーザー定義の計測位置(X、Y)を正確に表す[Recipe]ウィンドウ

複雑なAFMの操作を簡略化



ScanAsystアルゴリズムとAutoMETソフトウェアが連係して、イメージ品質を継続的に自動監視し、必要なパラメーター調整を行います。

複数サンプルの自動計測



AutoMET™ 総合レシピソフトウェアは、単純な操作で高速の自動計測を行い、品質に重要な計測値をAFMから容易に収集できます。

FastScan Pro Recipe Window for wafers v1

計測レシピの簡単な作成で、名前による位置の定義、タイプの割り当て、各位置での計測数の指定ができます。

信頼性が非常に高いプラットフォームと比類なきサポート

装置の継続運用およびお客様が持つ製造上の課題の解決をサポート

FastScan Pro AFM 30 years medallion v1

運用効率の向上でコストを削減



Dimensionプラットフォームは、半導体、データストレージ、高輝度LED、およびポリマーの各産業で導入数が最も多いAFMです。

Apps team v2


Brukerのサポートスタッフが有する広範な産業用途の知識を活用



世界各国の研修センターとサービスセンター、および専用サポートWebサイトから、お使いのシステムに関する有用なサポートをタイムリーに受けることができます。

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