クリティカルディメンションと 深さの卓越した計測

InSight 3DAFMは、位置決め精度が向上した新しい高精度X-Yステージを採用した全く新しい計測プラットフォーム、高精度レーザーオートフォーカス機能を持つ新しいパターン認識システム、および改良されたチップ自動交換メカニズムを採用しています。また、新しいAFM制御手法と新設計のプローブにより、精度の向上と測定部位当たりのコスト削減、およびこれまで以上に小さい形状の測定を実現しました。

主な特長

  • ゲート、シャロートレンチアイソレーション(STI)結合デュアルダマシン構造、側壁角度、ラインエッジの変動などの重要なCD要素の参照計測が可能
  • クリティカルディメンション(CD)および側壁角度(SWA)の計測における測定不確実性を最小限に抑制
  • 深さ計測で30 wphの9部位スループット、CD計測で12 wphの9部位スループットを実現
  • 独自の非破壊3D計測(LER、LWR、SWA)を提供
  • 生産環境レベルの信頼性、およびインラインの生産性を向上するための最先端の自動化を実現
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InSight 3DAFM reference metrology.
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