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450mm計測のすべてのニーズを満たす原子レベル分解能

450 mmウェハー全体の深さ、CD、側壁角度、プロファイル、および粗さに単一ツールで対応する計測ソリューション

300 mm用の使用実績のあるInsight 3DAFMプラットフォームをベースにしたInsight-450 3DAFMは、粗さ、深さ、およびCDの幅広い用途に最適です。機能には、ベアウェハー工程の検証、粗さ特性解析、ピット/バンプ/スクラッチの欠陥計測、受入サブストレートの認定、マイクロ/ナノレベルの粗さとÅレベルの段差の精度での薄膜とエピタキシャルの生成性能、工程の開発および制御のためのエッチ深さ計測、TEMと同様のフルプロファイルによるCD、SWA、LERのインラインレジストプロファイル測定、およびディッシングと浸食を監視するためのCMPの平坦化性能が含まれます。

InSight 450 mm AFMの柔軟性は、上記のすべての用途に単一ツールで対応できることを意味します。したがって、総計測コストが削減されます。InSight-450 3DAFMは、モデリングなし、NISTトレーサビリティーに完全対応、材料またはウェハーの損失なしでこの機能を使用できるので、450 mm工程開発の初期学習と450 mm生産へのスケーラビリティーを提供する理想的なツールです。

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