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限界寸法、深さ、および粗さの卓越した計測

InSight-450 3DAFMは、ファブおよびフルウェハー計測用の最先端の自動AFMプラットフォームです。高精度のX-Y空気軸受ステージ、高速DSP自動チップ交換、および特許取得済みのCD AFM制御など、標準のInSightプラットフォームの利点を450 mmウェハーに展開します。サイズの拡大がAFMシステムの性能に及ぼす影響を最小化するためのあらゆる努力を行った結果、InSight-450は300 mmシステムの性能に匹敵するか、または上回るほどの性能を示します。

主な特長

  • ゲート、シャロートレンチアイソレーション(STI)結合デュアルダマシン構造、側壁角度、ラインエッジの変動などの重要なCD要素の参照計測が可能
  • 限界寸法(CD)および側壁角度(SWA)の計測における測定不確実性を最小限に抑制
  • ウェハー全体をカバー、TEMと同様の精度、ウェハーの損失なし
  • プラットフォームは、ウェハーレジストレーション、チップ交換、チップ形状評価、レシピなどが完全自動化
  • AFMの分解能でベアウェハーと薄膜粗さの特性解析
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InSight 3DAFM reference metrology.