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硬さ

ナノスケールでも定量的に硬さを評価

ナノインデンテーション法によりナノからマイクロスケールまで定量的な硬さ測定が可能です。ビッカース硬さ試験などこれまで伝統的に行われてきた押し込み硬さ試験では、試験後に試験片の表面に残る圧痕(塑性変形)の面積を計測し、硬さの値の算出に用いてきました。しかし、ナノインデンテーション法では試験のスケールが小さいため、圧痕を直接光学顕微鏡で確認することは困難です。ナノインデンテーション法では既知の形状の圧子(プローブ)を用い、押し込み試験中の荷重、変位を連続的に計測し、荷重-変位曲線を得ます。その曲線を解析し、接触面積を算出する手法をとります。この手法によりナノインデンテーション法は、ナノ、マイクロスケールで硬さの値を迅速かつ定量的に測定することを可能にしました。

ブルカーはナノインデンテーションによりナノスケールの機械的特性を算出する装置を開発するワールドワイドのトップランナーです。ナノメートル精度で測定位置を制御し、測定中のデータ取得も安定的に行えるよう、独自の静電容量型トランスデューサー技術を開発しました。これにより、超薄膜から複雑な構造のバルク材料までナノスケールでの定量的かつ高精度な機械的特性評価を高スループットで行うことを可能にしました。

硬さを算出可能な独立型ナノインデンテーションシステム

TI980 Tool Image v5

TI 980 TriboIndenter

ブルカーの最先端のナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。最大の性能、順応性、信頼性、感度、測定スピード

TI950 Tool Image v5

TI 950 TriboIndenter

多用途に使用可能なナノ力学特性、ナノトライボロジー特性評価装置。幅広い複合評価をご提供可能

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TI Premier

コンパクトなプラットフォームでナノスケールの力学特性評価のエッセンスを詰め込んだナノ力学特性評価専用装置

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PI 85L SEM PicoIndenter

SEM(走査電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価ベーシックモデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーのAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント

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PI 88 SEM PicoIndenter

SEM、FIB/SEM中で行うin-situナノ力学特性評価ハイエンドモデル

 

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PI 95 TEM PicoIndenter

TEM(透過電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価モデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント