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触針式プロファイリングシステム

ブルカーのDektak®触針式プロファイリングシステムは、40年以上にわたる独自テクノロジーの進歩に基づく製品です。従来の2D表面粗さ特性分析および段差の計測から、先進的な3Dマッピングと薄膜応力分析まで、高い繰り返し性と正確度で各種の表面を計測します。

 

Dektak触針式プロファイリングシステムは、教育研究での確認から半導体プロセス制御までの用途で、薄膜の厚さ、応力、および表面の粗さと形状を計測する卓越したソリューションとして幅広く受け入れられています。最近では、Dektakシステムは成長している太陽電池市場で卓越した特性分析ツールとして使用されており、太陽電池の多数の主要製造会社に採用されています。

DektakXT

卓上型触針式プロファイリングシステム

ブルカーのDektakXT®触針式プロファイリングシステムは、4Åの繰り返し性を可能にする革新的な設計を採用しています。触針式プロファイリングシステムの性能におけるこの画期的な成果は、40年にわたって技術を革新し続け、業界をリードしてきたDektak®の実績の集大成です。業界初の複数の特長を兼ね備えたDektakXTは最高の性能、使いやすさと価値を提供し、研究開発から品質管理まで一層優れたプロセスモニタリングを可能にします。Dektakに組み込まれたこの飛躍的な技術革新により、マイクロエレクトロニクス、半導体、太陽電池、高輝度LED、医療、および材料科学の各産業で重要なnmレベルの表面計測が可能となりました。

Dektak XTL

最大300 mmの性能を備えたゲージ対応QA/QC向けプロファイラー

触針式プロファイリングシステムDektak XTLは、正確度、繰り返し性、再現性が極めて高く、幅広い用途に対応する計測システムです。350 mm x 350 mmまでのサンプルを搭載できるため、定評あるDektakシステムの性能を200 mmおよび300 mmウエハ製造にも活用できます。インターロックドアによる隔離機能を備えたDektak XTLは、要求の厳しい現在の生産環境に最適です。カメラ2台の構成により空間認識性能が上昇し、高度な自動化により製造スループットが向上します。